環境設備

• 導電性

プロトスキャリア用　インナートレイは割れやすいウェハーの搬送に最適です。

• 導電性

研究開発現場で便利な一枚入り搬送ケースです。

• 雑貨(印刷可)

超低発塵性を実現したクリーンペーパーです。

各種エアフィルターを取り扱っています。

• 導電性

導電性の粘着マットです。

• 導電性

ガラスウェハーの静電チャック・デチャックをスムーズに行えます。

• 導電性

組み替えが簡単で必要な場所に導電性フロアーエリアを設置することができます。

• 導電性

立ち作業エリアでの足疲労軽減クッションマットです。

• 帯電防止

卓上使用可能な薄型・小型のイオンブロアーです。

• 帯電防止

帯電物体の電位を非接触で測定するハンディータイプのデジタル表示式 静電電位測定器です。