環境設備

環境設備 / ウェハー搬送ケース /

プロトスキャリア用　インナートレイ

導電性

プロトスキャリア用　インナートレイは割れやすいウェハーの搬送に最適です。

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12インチ用1枚入り搬送ケース　MA-12/ONE

導電性

研究開発現場で便利な一枚入り搬送ケースです。

環境設備 / ウェハー搬送ケース /

STチャックテープ（導電性耐熱テープ）

導電性

ガラスウェハーの静電チャック・デチャックをスムーズに行えます。

環境設備 / ウェハー搬送ケース /

AS-TEDバッグ

帯電防止
導電性

環境設備 / ウェハー搬送ケース /

ウエハー搬送用専用スペーサー　プロトススペーサー

帯電防止
導電性

環境設備 / ウェハー搬送ケース /

プロトスクッション（ウエハー搬送用クッション）

帯電防止
導電性

環境設備 / ウェハー搬送ケース /

ウェハー搬送ソリューション

帯電防止
導電性

環境設備 / ウェハー搬送ケース /

プロトスキャリアNDシーズ（フィルムフレーム付きウエハー搬送ケース）

導電性

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ウエハー搬送用ケース「プロトスキャリア MAシリーズ」

導電性

業界標準のコインスタックケースのアキレスプロトスキャリアです。

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