Product Info商品情報
プロトスクッション（ウエハー搬送用クッション）
プロトスクッションの詳細情報
特徴
●ニーズに合わせた豊富なバリエーション
お客様のご要望に合わせて4種類をラインナップしています。
●優れたクリーン性能
低イオンコンタミ、低パーティクルな材料を選定しています。
●優れた衝撃吸収性
プロトスクッションPESDタイプ（導電性単層クッション）
- 品番:MA-□PESD-1/3/5/10（□はインチ数 4/5/6/8/12）
- 表面抵抗値:1.0×10の5乗Ω<1.0×10の8乗Ω
- 材質:導電性PE
プロトスクッションPEASタイプ（導電性多層クッション(高クリーン)）
- 品番:MA-□PEAS-1/3/5/6/10（□はインチ数 4/5/6/8/12）
- 表面抵抗値:<1.0×10の12乗Ω
- 材質:(表層)帯電防止PEフィルム (本体)PE
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