石塚株式会社

Product Info商品情報

ウエハー搬送用専用クッション プロトスクッション

プロトスキャリア用クッション材として豊富なラインナップを揃えております。

商品コード
100106
機能・特性
  • 帯電防止
  • 導電性
商品カテゴリ
  1. 環境設備 /
  2. 環境設備 / ウェハー搬送ケース /

プロトスクッションの詳細情報

特徴

●ニーズに合わせた豊富なバリエーション
 お客様のご要望に合わせて4種類をラインナップしています。
●優れたクリーン性能
 低イオンコンタミ、低パーティクルな材料を選定しています。
●優れた衝撃吸収性

 

プロトスクッションPESDタイプ(導電性単層クッション)

 

  • 品番:MA-□PESD-1/3/5/10(□はインチ数 4/5/6/8/12)
  • 表面抵抗値:1.0×10の5条Ω<1.0×10の8乗Ω
  • 材質:導電性PE

プロトスクッションPEASタイプ(導電性多層クッション(高クリーン))

 

  • 品番:MA-□PEAS-1/3/5/6/10(□はインチ数 4/5/6/8/12)
  • 表面抵抗値:<1.0×10の12乗Ω
  • 材質:(表層)帯電防止PEフィルム (本体)PE

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