Product Info
商品情報
プロトススペーサー（ウエハー搬送用専用スペーサー）
プロトススペーサーの詳細情報
プロトススペーサーの特徴
ニーズに合わせた豊富なバリエーション
お客様のご要望に合わせて4種類をラインナップしています。
優れたクリーン性能
製造工程で洗浄を行い、低イオンコンタミ、低パーティクルを実現しています。
自動ウェハー移載装置対応
自動移載装置でも吸着しハンドリングを行う事が可能です。
表裏無し
表裏が無い製品ですので、作業標準化が極めて容易です。
プロトススペーサーPEAタイプ（帯電防止性フィルムスペーサー）
プロトススペーサーPEAタイプの品番
PEA-□-350（□はインチ数 4/5/6/8/12）
- PEA-4-350
- PEA-5-350
- PEA-6-350
- PEA-7-350
- PEA-8-350
- PEA-12-350
表面抵抗値
- <1.0×10の12乗Ω
材質
- 帯電防止PE
プロトススペーサーCPSタイプ（導電性フィルムスペーサー）
プロトススペーサーCPSタイプの品番
CPS-□-250（□はインチ数 4/5/6/8/12）
- CPS-4-250
- CPS-5-250
- CPS-6-250
- CPS-8-250
- CPS-12-250
表面抵抗値
- <1.0×10の9乗Ω
材質
- 帯電防止PE
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