Product Info商品情報
プロトススペーサー（ウエハー搬送用専用スペーサー）
プロトススペーサーの詳細情報
特徴
●ニーズに合わせた豊富なバリエーション
お客様のご要望に合わせて4種類をラインナップしています。
●優れたクリーン性能
製造工程で洗浄を行い、低イオンコンタミ、低パーティクルを実現しています。
●自動ウェハー移載装置対応
自動移載装置でも吸着しハンドリングを行う事が可能です。
●表裏無し
表裏が無い製品ですので、作業標準化が極めて容易です。
プロトススペーサーPEAタイプ（帯電防止性フィルムスペーサー）
- 品番:PEA-□-350（□はインチ数 4/5/6/8/12）
- 表面抵抗値:<1.0×10の12乗Ω
- 材質:帯電防止PE
プロトススペーサーCPSタイプ（導電性フィルムスペーサー）
- 品番:CPS-□-250（□はインチ数 4/5/6/8/12）
- 表面抵抗値:<1.0×10の9乗Ω
- 材質:帯電防止PE
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