石塚株式会社

Product Info商品情報

ウエハー搬送用専用スペーサー プロトススペーサー

プロトスキャリア用のクリーンスペーサーです。

商品コード
100107
機能・特性
  • 帯電防止
  • 導電性
商品カテゴリ
  1. 環境設備 /
  2. 環境設備 / ウェハー搬送ケース /

プロトススペーサーの詳細情報

特徴

●ニーズに合わせた豊富なバリエーション
 お客様のご要望に合わせて4種類をラインナップしています。
●優れたクリーン性能
 製造工程で洗浄を行い、低イオンコンタミ、低パーティクルを
 実現しています。
●自動ウェハー移載装置対応
 自動移載装置でも吸着しハンドリングを行う事が可能です。
●表裏無し
 表裏が無い製品ですので、作業標準化が極めて容易です。

 

プロトススペーサーPEAタイプ(帯電防止性フィルムスペーサー)

 

  • 品番:PEA-□-350(□はインチ数 4/5/6/8/12)
  • 表面抵抗値:<1.0×10の12乗Ω
  • 材質:帯電防止PE

プロトススペーサーCPSタイプ(導電性フィルムスペーサー)

 

  • 品番:CPS-□-250(□はインチ数 4/5/6/8/12)
  • 表面抵抗値:<1.0×10の9乗Ω
  • 材質:帯電防止PE

 

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