Product Info商品情報
ウエハー搬送用ケース プロトスキャリア MAシリーズ
プロトスキャリア MAシリーズ詳細情報
特徴
●コンパクトデザインにより輸送コストを削減します
一般的な縦型容器に比べ、約半分のサイズで梱包が可能ですので、輸送コストを大幅に削減する事が可能です。
●密閉性に優れています。
●4インチから12インチまで対応
●自動ウェハー移載装置対応
●洗浄出荷による高クリーン性を維持
表面抵抗値
<1.0×10の6乗Ω
材質
導電性PP
MAシリーズ 規格
形式 | ウェハーの径 | 容器高さ | 有効高さ | 収納部内径 | 容器外径 |
---|---|---|---|---|---|
MA-4 | 5インチ | 90㎜ | 50㎜ | 103±1㎜ | 150㎜ |
MA-5 | 5インチ | 90㎜ | 50㎜ | 128±1㎜ | 150㎜ |
MA-6S | 6インチスリム | 63㎜ | 38㎜ | 153±1㎜ | 175㎜ |
MA-8S | 6インチスリム | 65㎜ | 38㎜ | 203±1㎜ | 226㎜ |
MA-12 | 12インチ | 76㎜ | 44㎜ | 302±1㎜ | 328㎜ |
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