Product Info
商品情報
ウエハー搬送用ケース「プロトスキャリア MAシリーズ」
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プロトスキャリア MAシリーズ詳細情報
特徴
輸送コストの削減
一般的な縦型容器に比べ約半分のサイズでコンパクトデザインにより、約半分のサイズで梱包が可能ですので、輸送コストを大幅に削減する事が可能です。
密閉性
密閉性に優れています。
幅広い対応
- 4インチから12インチまで対応
- 自動ウェハー移載装置対応
- 洗浄出荷による高クリーン性を維持
表面抵抗値
＜1.0×10の6乗Ω
材質
導電性PP
MAシリーズ 規格
| 型式 | ウェハーの径 | 容器高さ （外寸） | ウェハー収納 有効高さ | 収納可能 ウェハー直径 | 容器外寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| MA-4 | 4インチ | 90mm | 47.8mm | 103±1mm | 150mm |
| MA-5 | 5インチ | 90mm | 50mm | 128±1mm | 150mm |
| MA-6S | 6インチスリム | 63mm | 38mm | 153±1mm | 175mm |
| MA-8S | 8インチスリム | 65mm | 38mm | 203±1mm | 226mm |
| MA-12 | 12インチ | 76mm | 44mm | 302±1mm | 328mm |
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