Product Info商品情報

ウエハー搬送用ケース「プロトスキャリア MAシリーズ」

業界標準のコインスタックケースのアキレスプロトスキャリアです。

機能・特性

商品カテゴリ

●コンパクトデザインにより輸送コストを削減します
　一般的な縦型容器に比べ、約半分のサイズで梱包が可能ですので、輸送コストを大幅に削減する事が可能です

●密閉性に優れています

●4インチから12インチまで対応
●自動ウェハー移載装置対応
●洗浄出荷による高クリーン性を維持

＜1.0×10の6乗Ω

導電性PP

型式	ウェハーの径	容器高さ（外寸）	ウェハー収納有効高さ	収納可能ウェハー直径	容器外寸
MA-4	4インチ	90mm	47.8mm	103±1mm	150mm
MA-5	5インチ	90mm	50mm	128±1mm	150mm
MA-6S	6インチスリム	63mm	38mm	153±1mm	175mm
MA-8S	6インチスリム	65mm	38mm	203±1mm	226mm
MA-12	12インチ	76mm	44mm	302±1mm	328mm

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