石塚株式会社

Product Info商品情報

ウエハー搬送用ケース プロトスキャリア MAシリーズ

業界標準のコインスタックケースのアキレスプロトスキャリアです。

商品コード
100018
機能・特性
  • 導電性
商品カテゴリ
  1. 環境設備 /
  2. 環境設備 / ウェハー搬送ケース /

プロトスキャリア MAシリーズ詳細情報

特徴

●コンパクトデザインにより輸送コストを削減します
 一般的な縦型容器に比べ、約半分のサイズで梱包が可能ですので、輸送コストを大幅に削減する事が可能です。

●密閉性に優れています。

●4インチから12インチまで対応
●自動ウェハー移載装置対応
●洗浄出荷による高クリーン性を維持

 

表面抵抗値

<1.0×10の6乗Ω

 

材質

導電性PP

 

MAシリーズ 規格

形式 ウェハーの径 容器高さ 有効高さ 収納部内径 容器外径
MA-4 5インチ 90㎜ 50㎜ 103±1㎜ 150㎜
MA-5 5インチ 90㎜ 50㎜ 128±1㎜ 150㎜
MA-6S 6インチスリム 63㎜ 38㎜ 153±1㎜ 175㎜
MA-8S 6インチスリム 65㎜ 38㎜ 203±1㎜ 226㎜
MA-12 12インチ 76㎜ 44㎜ 302±1㎜ 328㎜

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