Product Info商品情報

ウエハー搬送用ケース「プロトスキャリア MAシリーズ」

業界標準のコインスタックケースのアキレスプロトスキャリアです。

商品コード
100018
機能・特性
  • 導電性
商品カテゴリ
  1. 環境設備 /
  2. 環境設備 / ウェハー搬送ケース /

プロトスキャリア MAシリーズ詳細情報

特徴

●コンパクトデザインにより輸送コストを削減します
 一般的な縦型容器に比べ、約半分のサイズで梱包が可能ですので、輸送コストを大幅に削減する事が可能です

●密閉性に優れています

●4インチから12インチまで対応
●自動ウェハー移載装置対応
●洗浄出荷による高クリーン性を維持

 

表面抵抗値

<1.0×10の6乗Ω

 

材質

導電性PP

 

MAシリーズ 規格

型式 ウェハーの径 容器高さ
(外寸)
ウェハー収納
有効高さ
収納可能
ウェハー直径
容器外寸
MA-4 4インチ 90mm 47.8mm 103±1mm 150mm
MA-5 5インチ 90mm 50mm 128±1mm 150mm
MA-6S 6インチスリム 63mm 38mm 153±1mm 175mm
MA-8S 6インチスリム 65mm 38mm 203±1mm 226mm
MA-12 12インチ 76mm 44mm 302±1mm 328mm

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