Product Info
商品情報
プロトスキャリア MAシリーズ ウエハー搬送用ケース
プロトスキャリア MAシリーズの導入効果
- 縦型容器に比べ約半分のサイズで梱包が可能なので、輸送コストの削減に繋がります。
プロトスキャリア MAシリーズ詳細情報
特長
- 密閉性に優れています。
- 4インチから12インチまで対応
- 自動ウェハー移載装置対応
- 洗浄出荷による高クリーン性を維持
- 表面抵抗値：＜1.0×10の6乗Ω
- 材質：導電性PP
規格
| 型式 | ウェハーの径 | 容器高さ （外寸） | ウェハー収納 有効高さ | 収納可能 ウェハー直径 | 容器外寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| MA-4 | 4インチ | 90mm | 47.8mm | 103±1mm | 150mm |
| MA-5 | 5インチ | 90mm | 50mm | 128±1mm | 150mm |
| MA-6S | 6インチ | 63mm | 38mm | 153±1mm | 175mm |
| MA-8S | 8インチ | 65mm | 38mm | 203±1mm | 226mm |
| MA-12 | 12インチ | 76mm | 44mm | 302±1mm | 328mm |
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| お問合せ電話番号 | |
| 東京本社 | 大阪支店 |
| 03-3866-8201 | 06-6441-0785 |
| 東京都千代田区神田和泉町2-29 | 大阪府大阪市西区土佐堀1-4-11 金鳥土佐堀ビル7F |
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