Product Info商品情報

ウエハー搬送用ケース　プロトスキャリア　MAシリーズ

業界標準のコインスタックケースのアキレスプロトスキャリアです。

機能・特性

商品カテゴリ

●コンパクトデザインにより輸送コストを削減します
　一般的な縦型容器に比べ、約半分のサイズで梱包が可能ですので、輸送コストを大幅に削減する事が可能です。

●密閉性に優れています。

●4インチから12インチまで対応
●自動ウェハー移載装置対応
●洗浄出荷による高クリーン性を維持

＜1.0×10の6乗Ω

導電性PP

形式	ウェハーの径	容器高さ	有効高さ	収納部内径	容器外径
MA-4	5インチ	90㎜	50㎜	103±1㎜	150㎜
MA-5	5インチ	90㎜	50㎜	128±1㎜	150㎜
MA-6S	6インチスリム	63㎜	38㎜	153±1㎜	175㎜
MA-8S	6インチスリム	65㎜	38㎜	203±1㎜	226㎜
MA-12	12インチ	76㎜	44㎜	302±1㎜	328㎜

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