石塚株式会社

Product Info商品情報

導電性耐熱テープ STチャックテープ

ガラスウェハーの静電チャック・デチャックをスムーズに行えます。

ガラスウェハーなどの絶縁物ウェハーの静電チェックやデチャックをスムーズに行う為の導電性耐熱テープです。

既存のテープ貼り/剥がし装置での使用が可能ですので、
簡単にご使用いただけます。
※使用の際は、実機でのテストをお願い致します。

優れたクリーン性
アウトガス、イオンコンタミ共に低く、優れたクリーン性を有しています。
その他半導体製造工程用テープも御相談下さい。

その他にも、各種半導体製造工程用テープにつきましても、
お気軽にお問い合わせ下さい。

商品コード
100266
機能・特性
  • 導電性
商品カテゴリ
  1. 環境設備 /
  2. 環境設備 / ウェハー搬送ケース /

STチャックテープの詳細情報

品番

  • STSI-PEN#25(ベースフィルム:ポリエチレンナフタレート)
  • STSI-PI#25(ベースフィルム:ポリイミド)

用途

  • CMOSイメージセンサー(CIS)
  • ガラスウエハー
  • クリスタルウエハー

特徴

  • 従来のウエハープロセスと同様に、ガラスサポートプロセスや絶縁性のMEMSウエハーを静電チャックによる装置内でのハンドリングが可能となります。
  • 従来の半導体製造設備を転用出来る為、新規の設備投資を抑制できます。
  • 透明性がある為、フィルムの上からの画像認識に位置合わせ等を行う事が可能です。
  • 低アウトガス、低イオンコンタミ
  • 耐熱性、耐薬品性を有しております。

※使用の際は実機でのご確認をお願いします。

 

規格

※本データは実測値であり保証値ではありません。

項目 単位

STSI-PEN#25

S104LS

STSI-PI#25

S104LS

測定方法

ベースフィルム μm 25±2 25±2 マイクロメーター
トータル厚み μm 40±4 40±4 マイクロメーター
mm

240±2(200mm用)

330±2(300mm用)

240±2(200mm用)

330±2(300mm用)

JIS 1級 スケール
長さ 20、80 20,80 -

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