Product Info商品情報

STチャックテープ（導電性耐熱テープ）

ガラスウェハーなどの絶縁物ウェハーの静電チェックやデチャックをスムーズに行う為の導電性耐熱テープです。
既存のテープ貼り、テープ剥がし装置での使用が可能ですので、簡単にご使用いただけます。
※使用の際は、実機でのテストをお願い致します。

■優れたクリーン性
アウトガス、イオンコンタミ共に低く、優れたクリーン性を有しています。その他半導体製造工程用テープも御相談下さい。

商品コード: 100266

機能・特性

導電性

商品カテゴリ

環境設備 /
環境設備 / ウェハー搬送ケース /

STチャックテープの詳細情報

品番

ＳＴＳＩ－ＰＥＮ＃２５（ベースフィルム：ポリエチレンナフタレート）
ＳＴＳＩ－ＰＩ＃２５（ベースフィルム：ポリイミド）

用途

ＣＭＯＳイメージセンサー（ＣＩＳ）
ガラスウエハー
クリスタルウエハー

特徴

従来のウエハープロセスと同様に、ガラスサポートプロセスや絶縁性のＭＥＭＳウエハーを静電チャックによる装置内でのハンドリングが可能となります。
従来の半導体製造設備を転用出来る為、新規の設備投資を抑制できます。
透明性がある為、フィルムの上からの画像認識に位置合わせ等を行う事が可能です。
低アウトガス、低イオンコンタミ
耐熱性、耐薬品性を有しております。

※使用の際は実機でのご確認をお願いします。

規格

※本データは実測値であり保証値ではありません。

項目	単位	ＳＴＳＩ－ＰＥＮ＃２５Ｓ１０４ＬＳ	ＳＴＳＩ－ＰＩ＃２５Ｓ１０４ＬＳ	測定方法
ベースフィルム	μｍ	25±2	25±2	マイクロメーター
トータル厚み	μｍ	40±4	40±4	マイクロメーター
幅	ｍｍ	240±2(200ｍｍ用) 330±2(300ｍｍ用)	240±2(200ｍｍ用) 330±2(300ｍｍ用)	ＪＩＳ　1級　スケール
長さ	ｍ	20、80	20,80	-