Product Info商品情報
プロトスキャリア用 インナートレイ
プロトスキャリア用インナートレイの詳細情報
特徴
●割れ易いウェハーの搬送に最適です。
化合物ウェハーなどの割れ易いウェハーを割れにくくし搬送する事が可能です。
●優れたクリーン性能
低パーティクル、低アウトガスを実現しています。
●優れた透明性
導電性でありながら、優れた透明性を有しております。
●4インチ、6インチに対応しております。
表面抵抗値
＜1.0×10の7乗Ω
材質
導電性A-PET
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