石塚株式会社

Product Info商品情報

プロトスキャリア用 インナートレイ

プロトスキャリア用 インナートレイは割れやすいウェハーの搬送に最適です。

商品コード
100271
機能・特性
  • 導電性
商品カテゴリ
  1. 環境設備 /
  2. 環境設備 / ウェハー搬送ケース /

プロトスキャリア用インナートレイの詳細情報

特徴

 ●割れ易いウェハーの搬送に最適です。
  化合物ウェハーなどの割れ易いウェハーを割れにくく搬送する事が可能です。

 ●優れたクリーン性能
  低パーティクル、低アウトガスを実現しています。

 ●優れた透明性
  導電性でありながら、優れた透明性を有しております。

 ●4インチ、6インチに対応

 

表面抵抗値

 <1.0×10の7乗Ω

 

材質

 導電性A-PET

 

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